​钛泵的抽气机理

钛泵分热钛泵与冷钛泵，一般用溅射离子源，是冷钛泵，是一种新型表面吸附型泵。它利用化学性质活泼的钛金属具有很强的吸气能力。

其抽气机理为：

   （1）活性气体分子碰撞在新鲜的钛膜上，由于化学吸附形成稳定的化合物。随后又被不断蒸发与溅射而形成的新钛膜所覆盖，新鲜钛膜又继续吸附气体分子，形成稳定的抽气能力。

   （2）非活性气体分子（如氩、氦等惰性气体）被电离后，在电场力的作用下，打在钛膜上，随之又被蒸发的新钛膜“掩埋”掉。

   （3）活性气体分子离子化后激发为亚稳态，（或解离为单个离子）增加化学活性，使泵的抽速增加。